Металлическая вращающаяся мишень
Между мишенью для распыления (катодом) и анодом прикладывают ортогональные магнитное и электрическое поля.И заполните необходимый инертный газ (обычно газ Ar) в камере высокого вакуума.Под действием электрического поля газ Ar ионизируется на положительные ионы и электроны.На мишень подается определенное отрицательное высокое напряжение, эмитированные мишенью электроны воздействуют магнитным полем, увеличивается вероятность ионизации рабочего газа, вблизи катода образуется плазма высокой плотности, воздействуют на ионы Ar силой Лоренца.Затем ускорьтесь, чтобы лететь к поверхности мишени, и бомбардируйте поверхность мишени на высокой скорости, чтобы распыленные атомы на мишени следовали принципу преобразования импульса, летели с поверхности мишени на подложку и осаждали пленку с высокой кинетической энергией.
Чтобы еще больше повысить коэффициент использования целевого материала, разработан вращающийся катод с более высокой эффективностью использования, а для напыления покрытия используется трубчатый материал мишени.Усовершенствование распылительного оборудования требует изменения формы мишени с плоской на трубчатую, а коэффициент использования трубчатой вращающейся мишени может достигать 70%, что в значительной степени решает проблему низкого использования плоской мишени.
Название продуктов | Металлическая вращающаяся мишень |
Материал | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Размер горячей продажи | ID-133/OD-157x 3191 мм ID-133/OD-157 X 3855 мм ID-160/OD-180x1800мм Также может быть обработан в соответствии с конкретными требованиями клиентов |
Минимальный заказ | 3 куска |
Упаковка | Фанерный деревянный корпус |
Заявление
Напыление покрытия представляет собой новый тип физического метода покрытия из паровой фазы.По сравнению с методом напыления он имеет очевидные преимущества.
во многих аспектах.Мишени для распыления металлов используются во многих областях.Основное применение вращающейся цели.
■Солнечные батареи
■Архитектурное стекло
■Авто стекло
■Полупроводник
■Телевизор с плоским экраном и т. д.
запросить информацию
Запросы и заказы должны содержать следующую информацию:
☑Спецификация цели ID×OD×L (мм).
☑Требуемое Количество.
☑Пожалуйста, свяжитесь с нами для более специальных потребностей.