Электронно-лучевые тигли с футеровкой
Источники электронно-лучевого осаждения оснащены нитью термоэлемента для эмиссии электронов, электромагнитами для формирования и позиционирования потока электронов, а также медной печью с водяным охлаждением соответствующей конструкции для размещения исходного материала, подлежащего осаждению. Многие материалы разрушительно реагируют с этими медными печами при температурах, обычно встречающихся во время вакуумного осаждения. Чтобы предотвратить тепловое взаимодействие с медным подом и обеспечить равномерное распределение тепла внутри исходного материала, во время электронно-лучевого осаждения часто бывает полезно использовать футеровку пода.
Эти площадки могут быть изготовлены в различных формах и размерах для размещения всех имеющихся в продаже источников электронного пучка. Состав лайнера тщательно подбирается в соответствии с наносимым материалом, чтобы свести к минимуму химические взаимодействия, вызывающие тепло, и максимизировать термическую стабильность процесса испарения.
Мы можем поставить тигельные вкладыши для электронно-лучевого испарения. Доступны различные материалы и размеры, подходящие для электронных пушек разных производителей. Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения подробной информации и предложения.
Мы также производим термические тигли и тигли HTE/LTE из различных материалов.
Время публикации: 02 августа 2023 г.