Как работает магнетронное распыление?
Магнетронное напыление — это метод физического осаждения из паровой фазы (PVD), класс процессов вакуумного осаждения для получения тонких пленок и покрытий.
Название «магнетронное распыление» происходит от использования магнитных полей для управления поведением заряженных ионных частиц в процессе магнетронного распыления.Для этого процесса требуется камера высокого вакуума, чтобы создать среду низкого давления для распыления.Газ, составляющий плазму, обычно аргон, поступает в камеру первым.
Между катодом и анодом прикладывается высокое отрицательное напряжение, чтобы инициировать ионизацию инертного газа.Положительные ионы аргона из плазмы сталкиваются с отрицательно заряженным материалом мишени.Каждое столкновение частиц высокой энергии может привести к тому, что атомы с поверхности мишени выбрасываются в вакуумную среду и перемещаются на поверхность подложки.
Сильное магнитное поле создает высокую плотность плазмы, удерживая электроны вблизи поверхности мишени, увеличивая скорость осаждения и предотвращая повреждение подложки от ионной бомбардировки.Большинство материалов могут выступать в качестве мишени для процесса распыления, поскольку система магнетронного распыления не требует плавления или испарения исходного материала.
Параметры продукта
Название продуктов | Цель из чистого титана |
Оценка | гр1 |
Чистота | Больше 99,7% |
Плотность | 4,5 г/см3 |
Минимальный заказ | 5 кусков |
Размер горячей продажи | Φ95*40мм Φ98*45мм Φ100*40мм Φ128*45мм |
Заявление | Покрытие для PVD машины |
Размер запаса | Φ98*45мм Φ100*40мм |
Другие доступные цели | Молибден (Mo) Хром (Кр) ТиАл Медь(Cu) Цирконий (Zr) |
Заявление
■Покрытие интегральных схем.
■Поверхностные дисплеи плоских панелей и других компонентов.
■Декорирование и покрытие стекла и т.д.
Какие продукты мы можем производить
■Плоская мишень из высокочистого титана (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Стандартное резьбовое соединение для легкой установки (M90, M80)
■Самостоятельное производство, доступная цена (контролируемое качество)
запросить информацию
Запросы и заказы должны содержать следующую информацию:
■ Диаметр, высота (например, Φ100*40 мм).
■ Размер резьбы (например, M90*2 мм).
■ Количество.
■ Требование чистоты.